镀膜机的核心组成与关键参数

来源:金华凯诚镀膜科技有限公司 发布时间:2025-10-31

镀膜机是一种用于在材料表面涂覆一层薄膜的设备,这种薄膜可以提供保护、装饰、增强性能或提供特殊功能。镀膜技术广泛应用于各种行业,如制造业、电子、汽车、建筑和装饰等。

一台典型的镀膜机通常包括以下几个核心部分:

1  真空系统: 提供并维持镀膜所需的高真空环境,包括真空腔体、机械泵、分子泵(或扩散泵)等。

2. 镀膜源: 根据技术类型,可以是蒸发源(如电阻加热舟、电子枪)、溅射靶、CVD的气体导入系统等。

3. 基片支架与运动机构: 用于放置基片,并可实现旋转、加热、偏压等,以保证膜层均匀性和性能。

4. 薄膜监控系统: 精确控制薄膜厚度,如石英晶体膜厚仪、光学监控仪等。

5. 过程控制系统: 控制整个镀膜过程的参数,如真空度、温度、气压、电源、气体流量等。

关键参数包括:真空度、沉积速率、薄膜均匀性、膜层附着力、薄膜纯度、设备稳定性与重复性等。

镀膜机作为制造精密薄膜的核心装备,是现代科技进步的重要支撑。它以真空为舞台,以物理或化学过程为手段,在微观尺度上创造出具有各种优异性能的薄膜材料,深刻地影响着我们的科技生活。